檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "柯正浩".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="薄膜厚度量測"
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本篇論文之研究目的為開發一微型薄膜厚度量測儀,該量測儀運作原理是基於 光學干涉法的實驗理論設計: 入射光分別於薄膜表面與基板反射,兩道反射光會產生 干涉現象,本研究藉由微型分光結構取得干涉光譜,再透…